江蘇進口氦質譜檢漏儀哪家好 上海睿德勵柯儀器儀表供應

氦質譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯(lián)偏轉性。江蘇進口氦質譜檢漏儀哪家好

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。江蘇國產(chǎn)氦質譜檢漏儀生產(chǎn)廠家掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。

選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業(yè)資質計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養(yǎng)，運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物，保障工作人員**和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。金華無損氦質譜檢漏儀大概多少錢

氦質譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。江蘇進口氦質譜檢漏儀哪家好

隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展，汽車空調(diào)行業(yè)對氦檢的需求越來越大，對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點的同時，更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本，所以電廠檢漏在實際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。江蘇進口氦質譜檢漏儀哪家好