2025-01-02 05:09:25
真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應用于高真空環(huán)境中的設備和系統的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導式真空計通過測量氣體傳熱的方式來測量壓力,熱陰極離子化真空計則利用氣體分子的離子化電流來測量壓力,而毛細壓力計則利用毛細管的表面張力和氣體壓力之間的關系來測量壓力。真空計在科學研究、電子制造、航空航天等領域都有較廣的應用。 皮拉尼真空計在哪些領域有應用?安徽高質量真空計原廠家
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 天津金屬真空計真空計的讀數通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。
真空計的歷史沿革1643年:意大利物理學家E.托里拆利進行大氣壓力實驗,開創(chuàng)了定量測量真空程度的先河。19世紀中葉:英國發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計,是工業(yè)上應用*****的***型粗真空計之一。1858年:德國玻璃工,在真空度需粗略指示場合仍應用十分普遍。1874年:,解決了低真空和高真空的***壓力的測量,是目前**基本的基準***型真空計。1906年:M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計,解決了工業(yè)生產中的低真空測量問題。,是一種典型的***型粗真空真空計。1916年:,解決了高真空的測量問題,是目前實際應用非常普遍的高真空真空計。1937年:,適用于有大量放氣和經常暴露于大氣的真空設備的測量,在真空冶金和機械工業(yè)中得到***應用。1940年:,是典型的測量氣體組分及分壓強的真空計。
結構組成
MEMS電容真空計主要由真空規(guī)管和測量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結構等組件。測量電路則用于對電容變化進行處理,得到真空度的值。此外,MEMS電容真空計還可能包含一些輔助組件,如溫度補償器、校準電路等,以提高測量精度和穩(wěn)定性。
性能特點
高靈敏度:MEMS電容真空計具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的真空度變化。寬測量范圍:通過優(yōu)化設計和制造工藝,MEMS電容真空計可以實現較寬的測量范圍,滿足不同應用場景的需求。穩(wěn)定性好:MEMS電容真空計具有良好的穩(wěn)定性,能夠在長時間內保持測量精度。功耗低:由于采用MEMS技術制造,MEMS電容真空計的功耗較低,適用于低功耗應用場景。易于集成:MEMS電容真空計體積小、重量輕,易于與其他微電子器件集成,實現高度集成化和智能化。 電容薄膜真空計的校準注意事項有?
按測量原理分類
電離真空計測量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計、磁懸浮轉子真空計等。場致顯微儀測量原理:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。分壓力真空計測量原理:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。示例:四極質譜計、回旋質譜計、射頻質譜計等。 如何選擇真空計才具有更高的性價比?山東高質量真空計供應商
真空計如何選型與使用?安徽高質量真空計原廠家
MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產品的質量和可靠性??茖W研究:在物理學、化學、材料科學等領域的研究中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保實驗環(huán)境的準確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領域,MEMS電容真空計用于監(jiān)測太空艙內的真空度,確保航天員的生命**和設備的正常運行。**設備:在**設備的制造和維護過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測放射設備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。安徽高質量真空計原廠家