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主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。測試完成后，探針卡于芯片分離，如果芯片不合格，則會在其中間做上標(biāo)記。上海智能探針臺供應(yīng)商

探針臺是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動化測試，在片進(jìn)行自動化測試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等。上海磁場探針臺機(jī)構(gòu)如果是合格的芯片，打點(diǎn)器不動作。

探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，精確扎到被測點(diǎn)，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能；3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后，即進(jìn)入晶圓探測階段，此時(shí)需要用復(fù)雜的機(jī)器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進(jìn)行探測。當(dāng)測試完成，則會自動將下一個(gè)待測晶圓替換到探針卡下面，如此周而復(fù)始地循環(huán)著。探針臺把晶圓片安放在一個(gè)可移動的金屬板上。

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，使運(yùn)動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運(yùn)動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動控制卡與電機(jī)形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動系統(tǒng)。3、整個(gè)四維運(yùn)動設(shè)計(jì)成低重心的緊湊結(jié)構(gòu)，保證其速率能到達(dá)70mm/s，并能提高運(yùn)動過程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個(gè)位置能進(jìn)行接地保護(hù)。硅片測試的目的是檢驗(yàn)可接受的電學(xué)性能。上海智能探針臺供應(yīng)商

細(xì)針和待測器件進(jìn)行物理和電學(xué)接觸。上海智能探針臺供應(yīng)商

探針臺是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中，從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測，探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司上海智能探針臺供應(yīng)商