2024-10-29 12:19:37
全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:適用場(chǎng)景:用DIW/有機(jī)溶劑(可選)實(shí)現(xiàn)FOUP清潔,通過高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實(shí)現(xiàn)FOUP干燥。設(shè)備特點(diǎn):清洗對(duì)象:6/8/12半自動(dòng)FOUP/Cassette/POD。設(shè)備主要構(gòu)成:旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu))、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng)、有機(jī)溶劑清洗系統(tǒng)(可選)等機(jī)構(gòu)組成。清洗能力:8只FOUP/小時(shí)(依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定)。干進(jìn)干出。人工分離FOUP、POD,人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗,可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn),對(duì)于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設(shè)有防呆機(jī)構(gòu),防止人工將清洗件放置錯(cuò)誤。鼠籠設(shè)有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測(cè)。動(dòng)平衡偵測(cè)轉(zhuǎn)籃未定位保護(hù),降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞。主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制,主軸震動(dòng)值可監(jiān)測(cè)??深A(yù)設(shè)多條Recipe,操作簡潔。選配SECS/GEM接口??蓪?shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯,具有過點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能。 選擇芯夢(mèng)設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動(dòng)化!甘肅購買清洗機(jī)設(shè)備展會(huì)
FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)清洗設(shè)備是用于清洗和處理半導(dǎo)體制造中使用的FOUP(前開式統(tǒng)一載具)的設(shè)備。FOUP是一種用于運(yùn)輸和儲(chǔ)存半導(dǎo)體晶圓的載具,通常由塑料材料制成,具有前開式設(shè)計(jì)和統(tǒng)一的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。FOUP清洗設(shè)備的作用是將FOUP清洗干凈,去除表面的污染物和顆粒,以確保在半導(dǎo)體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設(shè)備通常具有以下主要組成部分:清洗艙:清洗艙是FOUP放置和清洗的區(qū)域。它通常包括一個(gè)容納FOUP的托盤或夾具,并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統(tǒng):氣流系統(tǒng)用于提供潔凈的氣流環(huán)境,以防止新的顆粒進(jìn)入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統(tǒng),以確保提供高質(zhì)量的潔凈氣氛。控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和控制清洗設(shè)備的運(yùn)行。它包括傳感器、執(zhí)行器和計(jì)算機(jī)控制單元,用于監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)清洗過程中的溫度、壓力、時(shí)間等參數(shù)。水處理系統(tǒng):水處理系統(tǒng)用于提供清潔的水源,用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統(tǒng)、離子交換器和過濾器,以去除水中的離子、顆粒和有機(jī)物。遼寧本地清洗機(jī)設(shè)備展會(huì)江蘇芯夢(mèng),值得你的信賴!
全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中的清潔衛(wèi)士。它的性能和創(chuàng)新的設(shè)計(jì),為FOUP的清潔提供了可靠的解決方案。該清洗機(jī)采用了先進(jìn)的機(jī)械臂技術(shù),能夠精細(xì)地抓取和移動(dòng)FOUP,確保清洗過程的平穩(wěn)和高效。其內(nèi)部的多噴頭設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)噴淋,無死角地清潔FOUP的各個(gè)部位。同時(shí),機(jī)器還具備自我診斷和故障報(bào)警功能。一旦出現(xiàn)異常情況,它會(huì)及時(shí)發(fā)出警報(bào)并停止運(yùn)行,很大程度地減少損失。比如,當(dāng)清洗劑不足或壓力異常時(shí),系統(tǒng)會(huì)立即提醒操作人員進(jìn)行處理。
我們的FOUP清洗機(jī)具有多項(xiàng)**性能設(shè)計(jì),以確保在使用過程中盡可能地降低風(fēng)險(xiǎn)和保護(hù)操作人員的**。以下是我們清洗機(jī)的**性能介紹:
DBPS動(dòng)平衡保護(hù);
WirelessSensorfool-proofProtectionSystem;
無線傳感器保護(hù)系統(tǒng);
LPLPS防漏液保護(hù);
LLPS液位防護(hù);
Hightemperatureinterlockcontrolprotection高溫聯(lián)鎖控制防護(hù);
Interlockprotectionofelectriccabinet內(nèi)置門電控箱聯(lián)鎖防護(hù);
WindPressureProtection風(fēng)壓防護(hù);
Cassette表面保護(hù) 我司設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固,性能可靠,是你的生產(chǎn)好幫手!
我們提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。
我們的晶圓盒清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,適合各種生產(chǎn)場(chǎng)景。外觀精美,質(zhì)感上乘,提升了生產(chǎn)品質(zhì)。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、便捷!
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FOUP內(nèi)的污染物可以來自多個(gè)來源,以下是其中一些常見的來源:過程殘留物:在半導(dǎo)體制造過程中,涉及到各種化學(xué)物質(zhì)、溶劑、清洗劑等。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內(nèi),成為污染物的來源。顆粒物:在半導(dǎo)體制造環(huán)境中,微小顆粒是一個(gè)主要的污染源。這些顆粒可以來自空氣中的灰塵、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設(shè)備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進(jìn)入FOUP內(nèi)部,導(dǎo)致污染。人為操作:在FOUP的處理、維護(hù)和運(yùn)輸過程中,如果操作不當(dāng),例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等,都會(huì)引入污染物。傳輸和存儲(chǔ)過程:FOUP在制造過程中需要經(jīng)過多個(gè)環(huán)節(jié)的傳輸和存儲(chǔ),包括機(jī)器之間的傳輸、暫存庫等。在這些過程中,如果傳輸設(shè)備或存儲(chǔ)環(huán)境不潔凈,或者FOUP密封不嚴(yán)密,都會(huì)導(dǎo)致污染物進(jìn)入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染:FOUP在制造過程中可能暴露在環(huán)境中,例如在潔凈室內(nèi)。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳,存在空氣中的微塵和顆粒物可能會(huì)進(jìn)入FOUP內(nèi)部,并成為污染源。甘肅購買清洗機(jī)設(shè)備展會(huì)