2025-04-12 03:12:16
進(jìn)入無塵車間的有哪些清潔要求?(1)清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布;(2)用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑;(3)使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑;(4)每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時清走。(5)每塊地板都要吸塵。每次交接班時,都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況,例如在哪結(jié)束從哪開始。(6)清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。(7)在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。(8)所有的門都需要檢查并擦干。(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。(10)架空地板下也要吸塵及擦拭。(11)三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。(12)工作時一定要記住,永遠(yuǎn)是由上往下擦,從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
凈化工程概述復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M(jìn)步至10級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處:A.彈性擴(kuò)充輕易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進(jìn)步為10~1000級以上,認(rèn)為出產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。